全自动磁控溅射系统的安全联锁功能

　　NSC-4000（A）全自动磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达到6"旋转平台，支持到4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7Torr，15分钟内可以达到10-6Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。

　　NSC-4000（A）带有14"立方形不锈钢腔体，4个2"的磁控管，DC直流和RF射频电源。在选配方面，350l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。

　　NSC-4000（A）全自动磁控溅射系统产品特点：

　　不锈钢腔体

　　260l/s或350l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵

　　13.56MHz，300-600WRF射频电源以及1KWDC直流电源

　　晶振夹具具有的<1?的厚度分辨率

　　带观察视窗的腔门易于上下载片

　　基于LabView软件的PC计算机控制

　　带密码保护功能的多级访问控制

　　*的安全联锁功能

　　预真空锁以及自动晶圆片上/下载片

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