磁控溅射系统不锈钢，铝质腔体

　　NSC-4000（M）磁控溅射系统概述：带有水冷或者加热(可加热到700度)功能，可达8"旋转平台，可支持4个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵，极限真空可达10-7Torr，15分钟内可以达到10-6Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离，可以获得想要的均匀度和沉积速度。

　　NSC-4000带有13"铝质腔体，4个2"的磁控管，DC直流和RF射频电源。在选配方面，我们提供不锈钢腔体，500l/s涡轮分子泵，额外的磁控管和衬底加热功能。

　　NSC-4000（M）磁控溅射系统产品特点：

　　不锈钢，铝质腔体

　　260或500l/s的涡轮分子泵，串接机械泵或干泵

　　13.56MHz，300-600WRF射频电源以及1KWDC直流电源

　　晶振夹具具有的